Kit de gaz de purge pour pompe à vide Agilent Varian TriScroll 300 et 600.
Référence Agilent : PTSPURGEKIT. Ces kits de purge Agilent Varian OEM Triscroll permettent une purge sûre et appropriée des paliers principaux via l'orifice de purge des paliers ou via l'orifice de lest d'air sur les pompes Triscroll des séries 300 et 600. Ce kit comprend un débitmètre avec papillon des gaz manuel, une soupape de décharge de 5 psig et les tubes et raccords nécessaires. Les applications suivantes nécessitent l'utilisation de ce kit de purge avec une pompe Triscroll série 300 ou 600 :
- Régénération cryopompe
- Nettoyage en chambre humide
- Applications Loadlock à taux de cycle élevé
- Pompage de solvants organiques
- Pompage de traces de brome ou de chlore
- Pompage des corrosifs résiduels